Logosol 久經考驗的技術和高標準的可靠性是業內最廣泛的預對準器系列的基礎。Prealigners 產品系列支持處理 45 毫米至 480 毫米的物體，具有從不透明到完全透明的任何透明度級別。Logosol 獨特的一體化設計和多功能控制軟件實現了與各種半導體平臺的直接兼容性和接口。
獨立
用于 45 毫米 – 480 毫米物體高精度對準的自主設備，包括方形和雙層基板，無需機械重新定位即可單單元處理多種尺寸的物體，卡盤加載和銷釘加載模式，以及高精度選項。
用于高速晶圓傳輸系統的經濟型中心計算和角度定向設備，具有對 45 毫米 – 480 毫米物體的對準能力，可與任何市售機器人輕松集成。提供高精度和卡盤尺寸/材料選項。
創新的自主設備，采用零抓取力的無源邊緣接觸，這是 Logosol 邊緣抓取預對準技術的替代方案，可確保無晶圓應力和最大的清潔度，用于處理 75 毫米 – 300 毫米的物體。標準和高精度型號。
快速交換
高通量預對準器具有基于專有設計的快速交換功能，允許晶圓卡盤負載低于引腳水平。
Logosol 廣泛的預對準器產品系列的基礎是我們內部設計和開發的技術，從硅和機械設計到運動控制和軟件。這種垂直整合，加上我們 30 年來為各種應用開發眾多預對準器的經驗，使我們能夠為標準型號無法滿足其規格的客戶提供解決方案。
