美國(guó) Logosol LPA38-3-V40E2-S23-S-V500P 晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的經(jīng)濟(jì)型中心計(jì)算和角度定向設(shè)備，具有對(duì) 45 毫米 – 480 毫米物體的對(duì)準(zhǔn)能力，可與任何市售機(jī)器人輕松集成。提供高精度和卡盤(pán)尺寸/材料選項(xiàng)。

創(chuàng)新、高性能、一體式設(shè)計(jì)消除了外部控制器和互連電纜，同時(shí)保持了插入兼容性
由超低慣量無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，響應(yīng)順暢、即時(shí)
先進(jìn)的掃描電子器件，能夠檢測(cè)透明、半透明和不透明的物體，無(wú)需在不同晶圓尺寸之間進(jìn)行機(jī)械重新定位
運(yùn)動(dòng)控制軟件，具有一套全面的常用命令，可實(shí)現(xiàn)與各種半導(dǎo)體平臺(tái)的兼容性和接口
小于4秒的典型對(duì)齊周期時(shí)間有助于實(shí)現(xiàn)最大的系統(tǒng)吞吐量

480毫米的對(duì)象，具有任何透明度水平，從不透明到完全透明。Logosol獨(dú)特的一體化設(shè)計(jì)和多功能控制軟件使其能夠與各種半導(dǎo)體平臺(tái)實(shí)現(xiàn)即插即用的兼容性和接口。