美國 Logosol LPA812-3 晶圓預對準器

創新的高性能一體式設計消除了外部控制器和互連電纜，同時保持了插入式兼容性

由超低慣性無刷電機驅動，實現平穩、即時的響應

先進的掃描電子設備能夠檢測透明、半透明和不透明物體，而無需在不同晶片尺寸之間進行機械重新定位

運動控制軟件具有一套全面的常用命令，可與各種半導體平臺兼容和接口

典型的對齊周期時間小于四秒，有助于實現最大的系統吞吐量

Logosol的經過時間考驗的技術和高可靠性標準是行業中最廣泛的預對準器系列的基礎。預對準器產品系列支持處理從45毫米到480毫米的對象，具有任何透明度水平，從不透明到完全透明。Logosol獨特的一體化設計和多功能控制軟件使其能夠與各種半導體平臺實現即插即用的兼容性和接口。