晶圓預對準器

Logosol?久經考驗的技術和高標準的可靠性是業內最廣泛的預對準器系列的基礎。Prealigners 產品系列支持處理 45 毫米至 480 毫米的物體，具有從不透明到完全透明的任何透明度級別。Logosol 獨特的一體化設計和多功能控制軟件實現了與各種半導體平臺的直接兼容性和接口。

獨立式

自主設備，用于對45毫米至480毫米的對象進行高精度對準，包括正方形和雙層基板，具有單元處理多種尺寸對象而無需機械重新定位、夾具負載和銷負載模式以及高精度選項。

嵌入式

用于高速晶圓傳輸系統的成本效益的中心計算和角度定位設備，具有45毫米至480毫米對象的對準能力，并可輕松與市場上可用的任何機器人進行集成。提供高精度和夾具尺寸/材料選項。