美國(guó)Logosol Diamond H5晶圓處理平臺(tái)

Logosol Diamond H5晶圓處理平臺(tái)H5系列真空機(jī)器人代表了一個(gè)重要的晶圓設(shè)計(jì)與可靠性的工程進(jìn)展搬運(yùn)設(shè)備。得益于技術(shù)先進(jìn)的組件機(jī)器人利用超低慣性、高響應(yīng)無刷伺服電機(jī)與零間隙Harmonic Drive?耦合齒輪，大大提高了靈巧性和精度。創(chuàng)新的一體式設(shè)計(jì)融入了運(yùn)動(dòng)控制器、伺服放大器和電源機(jī)器人的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)足跡。高強(qiáng)度結(jié)構(gòu)件可安裝在以下任一位置法蘭的頂面或底面，不影響系統(tǒng)剛性。可聯(lián)網(wǎng)RS-485和以太網(wǎng)接口互補(bǔ)標(biāo)準(zhǔn)RS-232和示教器連接。強(qiáng)大的原生晶圓處理和腳本語言促進(jìn)嵌入式軟件的快速開發(fā)將機(jī)器人引入OEM應(yīng)用環(huán)境。傳統(tǒng)機(jī)器人“宏”命令的綜合仿真兼容性下降。

Logosol Diamond H5晶圓處理平臺(tái)特征：

模塊化和高度可定制的設(shè)計(jì)

完全集成的運(yùn)動(dòng)控制器、伺服放大器和電源

高響應(yīng)無刷電機(jī)和精確的零間隙

Harmonic Drive?齒輪主機(jī)的標(biāo)準(zhǔn)RS-232接口和以太網(wǎng)（Telnet）接口

先進(jìn)的32位實(shí)時(shí)運(yùn)動(dòng)控制內(nèi)核

強(qiáng)大的晶圓處理固件

全面的軟件工具和實(shí)用程序

傳統(tǒng)機(jī)器人宏命令的軟件仿真

可選示教器終端

用于定制用途的通用數(shù)字輸入和輸出可靠性——MTBF>60000小時(shí)

Logosol Diamond H5晶圓處理平臺(tái)規(guī)格：