美國(guó)Logosol LPA312-3 獨(dú)立預(yù)對(duì)準(zhǔn)器 LPA312-3-V40P1-S23-S-V500P-CT06

用于 45 毫米 – 480 毫米物體高精度對(duì)準(zhǔn)的自主設(shè)備，包括方形和雙層基板，無(wú)需機(jī)械重新定位即可單單元處理多種尺寸的物體，卡盤(pán)加載和銷(xiāo)釘加載模式，以及高精度選項(xiàng)。

創(chuàng)新、高性能、全合一設(shè)計(jì)，無(wú)需外部控制器和連接電纜，同時(shí)保持即插即用兼容性
由超低慣性無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)平滑、即時(shí)響應(yīng)
先進(jìn)的掃描電子學(xué)，能夠在不同品圓尺寸之間無(wú)需機(jī)械重新定位的情況下檢測(cè)透明、半透明和不透明的物體
運(yùn)動(dòng)控制軟件，具有一套全面的常用命令，可實(shí)現(xiàn)與各種半導(dǎo)體平臺(tái)的兼容性和接口
典型的對(duì)齊周期時(shí)間不到四秒，有助于實(shí)現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量