Logosol

美國Logosol LPA312-3-V40P1-S23-S-V500P晶圓預對準器

美國Logosol LPA312-3-V40P1-S23-S-V500P晶圓預對準器

Logosol 久經考驗的技術和高標準的可靠性是業內最廣泛的預對準器系列的基礎。Prealigners 產品系列支持處理 45 毫米至 480 毫米的物體,具有從不透明到完全透明的任何透明度級別。Logosol 獨特的一體化設計和多功能控制軟件實現了與各種半導體平臺的直接兼容性和接口。

Logosol Prealigners

獨立式

自主設備,用于對45毫米至480毫米的對象進行高精度對準,包括正方形和雙層基板,具有單元處理多種尺寸對象而無需機械重新定位、夾具負載和銷負載模式以及高精度選項。

嵌入式

用于高速晶圓傳輸系統的成本效益的中心計算和角度定位設備,具有45毫米至480毫米對象的對準能力,并可輕松與市場上可用的任何機器人進行集成。提供高精度和夾具尺寸/材料選項。

邊緣處理

創新的自主設備,采用零夾持力的被動邊緣接觸技術,是Logosol邊緣夾持預對準器技術的替代方案,確保在處理75毫米至300毫米對象時,晶圓不受應力影響,保持最大的清潔度。提供標準和高精度型號。

Logosol Prealigner

快速更換

高吞吐量的預對準器,具有基于專有設計的快速更換功能,允許在銷針水平以下進行晶圓夾具裝載。

Logosol Fast Swap Prealigner

 

訂單指南

 

 


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