美國Logosol LPA38-3-V40E2-S23-S-V500P LPA系列嵌入式預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

480毫米的對(duì)象，具有任何透明度水平，從不透明到完全透明。Logosol獨(dú)特的一體化設(shè)計(jì)和多功能控制軟件使其能夠與各種半導(dǎo)體平臺(tái)實(shí)現(xiàn)即插即用的兼容性和接口。

Logosol獨(dú)立式預(yù)對(duì)準(zhǔn)器：

自主設(shè)備，用于對(duì)45毫米至480毫米的對(duì)象進(jìn)行高精度對(duì)準(zhǔn)，包括正方形和雙層基板，具有單元處理多種尺寸對(duì)象而無需機(jī)械重新定位、夾具負(fù)載和銷負(fù)載模式以及高精度選項(xiàng)。

Logosol嵌入式預(yù)對(duì)準(zhǔn)器：

用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的成本效益的中心計(jì)算和角度定位設(shè)備，具有45毫米至480毫米對(duì)象的對(duì)準(zhǔn)能力，并可輕松與市場(chǎng)上可用的任何機(jī)器人進(jìn)行集成。提供高精度和夾具尺寸/材料選項(xiàng)。