美國Logosol LPA38-3-V40E2-S23-S-V500P LPA系列嵌入式預(yù)對準(zhǔn)器
LPA系列嵌入式預(yù)對準(zhǔn)器
480毫米的對象,具有任何透明度水平,從不透明到完全透明。Logosol獨(dú)特的一體化設(shè)計(jì)和多功能控制軟件使其能夠與各種半導(dǎo)體平臺實(shí)現(xiàn)即插即用的兼容性和接口。
獨(dú)立式預(yù)對準(zhǔn)器:
自主設(shè)備,用于對45毫米至480毫米的對象進(jìn)行高精度對準(zhǔn),包括正方形和雙層基板,具有單元處理多種尺寸對象而無需機(jī)械重新定位、夾具負(fù)載和銷負(fù)載模式以及高精度選項(xiàng)。
嵌入式預(yù)對準(zhǔn)器:
用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的成本效益的中心計(jì)算和角度定位設(shè)備,具有45毫米至480毫米對象的對準(zhǔn)能力,并可輕松與市場上可用的任何機(jī)器人進(jìn)行集成。提供高精度和夾具尺寸/材料選項(xiàng)。