美國LOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500晶圓預對準器,尋邊臺

LOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500特點：

→ 創新的一體化設計，無需外部控制器和連接線纜，同時保持即插即用兼容性。

→ 采用超低慣量無刷電機驅動，響應快速平穩。

→ 先進的掃描電子元件可檢測透明、半透明及不透明物體，無需根據不同晶圓尺寸機械調整位置。

→ 運動控制軟件集成多種常用指令，兼容多種半導體平臺接口。

→ 典型對準周期低于4秒，助力實現最大系統吞吐量。

LOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500晶圓預對準器尺寸：

LOGOSOL LPA812-3-V40P1-S23-B-V500晶圓預對準器規格：