美國Logosol LPA812EH-3 邊緣處理預(yù)對準(zhǔn)儀 尋邊臺LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V

創(chuàng)新的自主設(shè)備，采用零抓取力的無源邊緣接觸，這是 Logosol 邊緣抓取預(yù)對準(zhǔn)技術(shù)的替代方案，可確保無晶圓應(yīng)力和最大的清潔度，用于處理 75 毫米 – 300 毫米的物體。標(biāo)準(zhǔn)和高精度型號。

邊緣處理預(yù)對準(zhǔn)器適用于兩種晶圓尺寸，邊緣接觸區(qū)減小至1mm以下，具有3種不同的引腳配置。
C(交叉)配置:為晶圓提供最均勻的支撐，并從三個方向提供平等接觸。
X配置:為超過6英寸寬的末端執(zhí)行器提供空間，并從兩側(cè)提供平等訪問
Y配置:提供與芯片最小的身體接觸(僅在夾頭和針腳上有3個點)和從兩側(cè)平等訪問
接口入口:側(cè)面(可選底部)