Logosol LPA68EH-3-REHV1-S38-B-R900V-LH58晶圓預對準器,邊緣處理
Logosol邊緣處理預對準器
創新的自主設備，采用零夾持力的被動邊緣接觸技術，是Logosol邊緣夾持預對準器技術的替代方案，確保在處理75毫米至300毫米對象時，晶圓不受應力影響，保持最大的清潔度。提供標準和高精度型號。
高吞吐量的預對準器，具有基于專有設計的快速更換功能，允許在銷針水平以下進行晶圓夾具裝載。
Logosol預對準器選型：
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創新的自主設備，采用零夾持力的被動邊緣接觸技術，是Logosol邊緣夾持預對準器技術的替代方案，確保在處理75毫米至300毫米對象時，晶圓不受應力影響，保持最大的清潔度。提供標準和高精度型號。
高吞吐量的預對準器，具有基于專有設計的快速更換功能，允許在銷針水平以下進行晶圓夾具裝載。