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美國Logosol Diamond H5晶圓處理平臺

美國Logosol Diamond H5晶圓處理平臺

Logosol Diamond H5晶圓處理平臺H5系列真空機器人代表了一個重要的晶圓設計與可靠性的工程進展搬運設備。得益于技術先進的組件機器人利用超低慣性、高響應無刷伺服電機與零間隙Harmonic Drive?耦合齒輪,大大提高了靈巧性和精度。創新的一體式設計融入了運動控制器、伺服放大器和電源機器人的行業標準足跡。高強度結構件可安裝在以下任一位置法蘭的頂面或底面,不影響系統剛性。可聯網RS-485和以太網接口互補標準RS-232和示教器連接。強大的原生晶圓處理和腳本語言促進嵌入式軟件的快速開發將機器人引入OEM應用環境。傳統機器人“宏”命令的綜合仿真兼容性下降。

Logosol Diamond H5晶圓處理平臺特征:

模塊化和高度可定制的設計

完全集成的運動控制器、伺服放大器和電源

高響應無刷電機和精確的零間隙

Harmonic Drive?齒輪主機的標準RS-232接口和以太網(Telnet)接口

先進的32位實時運動控制內核

強大的晶圓處理固件

全面的軟件工具和實用程序

傳統機器人宏命令的軟件仿真

可選示教器終端

用于定制用途的通用數字輸入和輸出可靠性——MTBF>60000小時

Logosol Diamond H5晶圓處理平臺規格:


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