LPA系列嵌入式預(yù)對準器

480毫米的對象，具有任何透明度水平，從不透明到完全透明。Logosol獨特的一體化設(shè)計和多功能控制軟件使其能夠與各種半導(dǎo)體平臺實現(xiàn)即插即用的兼容性和接口。

獨立式預(yù)對準器：

自主設(shè)備，用于對45毫米至480毫米的對象進行高精度對準，包括正方形和雙層基板，具有單元處理多種尺寸對象而無需機械重新定位、夾具負載和銷負載模式以及高精度選項。

嵌入式預(yù)對準器：

用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的成本效益的中心計算和角度定位設(shè)備，具有45毫米至480毫米對象的對準能力，并可輕松與市場上可用的任何機器人進行集成。提供高精度和夾具尺寸/材料選項。