美國 Logosol LPA38-3-V40E2-S23-S-V500P 晶圓預對準器

用于高速晶圓傳輸系統的經濟型中心計算和角度定向設備，具有對 45 毫米 – 480 毫米物體的對準能力，可與任何市售機器人輕松集成。提供高精度和卡盤尺寸/材料選項。

創新、高性能、一體式設計消除了外部控制器和互連電纜，同時保持了插入兼容性
由超低慣量無刷電機驅動，響應順暢、即時
先進的掃描電子器件，能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，無需在不同晶圓尺寸之間進行機械重新定位
運動控制軟件，具有一套全面的常用命令，可實現與各種半導體平臺的兼容性和接口
小于4秒的典型對齊周期時間有助于實現最大的系統吞吐量

480毫米的對象，具有任何透明度水平，從不透明到完全透明。Logosol獨特的一體化設計和多功能控制軟件使其能夠與各種半導體平臺實現即插即用的兼容性和接口。