美國 Logosol 晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器
Logosol 久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)和高標(biāo)準(zhǔn)的可靠性是業(yè)內(nèi)最廣泛的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器系列的基礎(chǔ)。Prealigners 產(chǎn)品系列支持處理 45 毫米至 480 毫米的物體，具有從不透明到完全透明的任何透明度級(jí)別。Logosol 獨(dú)特的一體化設(shè)計(jì)和多功能控制軟件實(shí)現(xiàn)了與各種半導(dǎo)體平臺(tái)的直接兼容性和接口。
獨(dú)立
用于 45 毫米 – 480 毫米物體高精度對(duì)準(zhǔn)的自主設(shè)備，包括方形和雙層基板，無需機(jī)械重新定位即可單單元處理多種尺寸的物體，卡盤加載和銷釘加載模式，以及高精度選項(xiàng)。
用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的經(jīng)濟(jì)型中心計(jì)算和角度定向設(shè)備，具有對(duì) 45 毫米 – 480 毫米物體的對(duì)準(zhǔn)能力，可與任何市售機(jī)器人輕松集成。提供高精度和卡盤尺寸/材料選項(xiàng)。
創(chuàng)新的自主設(shè)備，采用零抓取力的無源邊緣接觸，這是 Logosol 邊緣抓取預(yù)對(duì)準(zhǔn)技術(shù)的替代方案，可確保無晶圓應(yīng)力和最大的清潔度，用于處理 75 毫米 – 300 毫米的物體。標(biāo)準(zhǔn)和高精度型號(hào)。
快速交換
高通量預(yù)對(duì)準(zhǔn)器具有基于專有設(shè)計(jì)的快速交換功能，允許晶圓卡盤負(fù)載低于引腳水平。
Logosol 廣泛的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器產(chǎn)品系列的基礎(chǔ)是我們內(nèi)部設(shè)計(jì)和開發(fā)的技術(shù)，從硅和機(jī)械設(shè)計(jì)到運(yùn)動(dòng)控制和軟件。這種垂直整合，加上我們 30 年來為各種應(yīng)用開發(fā)眾多預(yù)對(duì)準(zhǔn)器的經(jīng)驗(yàn)，使我們能夠?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)型號(hào)無法滿足其規(guī)格的客戶提供解決方案。
