Logosol LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V 用于300mm晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)

Logosol 300mm晶圓的邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器
對(duì)準(zhǔn)能力：標(biāo)準(zhǔn)300mm晶圓
Logosol 300mm TAIKO晶圓
接觸區(qū)：邊緣接觸，斑點(diǎn)寬度為1mm
引腳配置：
標(biāo)準(zhǔn)配置：為晶圓提供最均勻的支持
C（交叉）配置：為較厚的末端執(zhí)行器和
三方平等準(zhǔn)入與上一代邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器相比，這兩種配置都能容忍交付晶片的較大初始偏移（高達(dá)6mm）

Logosol LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V PREALIGNER規(guī)格：

Logosol?久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)和高標(biāo)準(zhǔn)的可靠性是業(yè)內(nèi)最廣泛的預(yù)對(duì)準(zhǔn)器系列的基礎(chǔ)。Prealigners?產(chǎn)品系列支持處理?45 毫米至 480 毫米的物體，具有從不透明到完全透明的任何透明度級(jí)別。Logosol?獨(dú)特的一體化設(shè)計(jì)和多功能控制軟件實(shí)現(xiàn)了與各種半導(dǎo)體平臺(tái)的直接兼容性和接口。