美國Logosol LPA812-3晶圓預對準器 LPA812-3-V40P1-S23-B-V500P

Logosol 久經考驗的技術和高標準的可靠性是業內最廣泛的預對準器系列的基礎。Prealigners 產品系列支持處理 45 毫米至 480 毫米的物體，具有從不透明到完全透明的任何透明度級別。Logosol 獨特的一體化設計和多功能控制軟件實現了與各種半導體平臺的直接兼容性和接口。

創新、高性能、Class 1兼容
獨特的一體式設計消除了外部控制器和互連電纜，同時保持了即插即用的兼容性
掃描電子、運動控制器和電源均包含在工業標準尺寸內
由超低慣性無刷電機驅動，實現平滑、即時響應
先進的掃描電子學，能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，無需在不同尺寸之間進行機械重新定位
無縫接口與晶圓處理機器人，支持所有晶圓尺寸從45mm到480mm，以及相應尺寸的方形基板
Logosol控制軟件具有一套全面的命令集，可實現與各種半導體平臺的兼容性和接口

無縫接口與晶圓處理機器人，支持所有晶圓尺寸從45mm到480mm，以及相應尺寸的方形基板
Logosol控制軟件具有一套全面的命令集，可實現與各種半導體平臺的兼容性和接口
快速對齊循環時間有助于實現最大系統吞吐量
可作為獨立設備使用，一也可作為與晶圓處理機器人協同工作的嵌入式設備使用
保留選項包括真空、非真空和邊緣處理