美國Logosol LPA68EH-3 邊緣處理預對準儀 LPA68EH-3-REHV1-S38-B-R900V-LH58

創新的自主設備，采用零抓取力的無源邊緣接觸，這是 Logosol 邊緣抓取預對準技術的替代方案，可確保無晶圓應力和最大的清潔度，用于處理 75 毫米 – 300 毫米的物體。標準和高精度型號。

LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE
用于150毫米晶圓的減少接觸邊緣處理預對準器
對準能力:標準150毫米晶圓150毫米平面、透明和半透明基板
接觸區:邊緣接觸，點寬1毫米
減少接觸邊緣處理預對準器可以容忍交付晶圓的較大初始偏移(高達6毫米)