用于 45 毫米 – 480 毫米物體高精度對準的自主設備，包括方形和雙層基板，無需機械重新定位即可單單元處理多種尺寸的物體，卡盤加載和銷釘加載模式，以及高精度選項。
創新、高性能、全合一設計，無需外部控制器和連接電纜，同時保持即插即用兼容性
由超低慣性無刷電機驅動，實現平滑、即時響應
先進的掃描電子學，能夠在不同晶圓尺寸之間無需機械重新定位的情況下檢測透明、半透明和不透明的物體
運動控制軟件，具有一套全面的常用命令，可實現與各種半導體平臺的兼容性和接口
典型的對齊周期時間不到四秒，有助于實現最大系統吞吐量
