Logosol LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V 用于300mm晶圓預(yù)對準

Logosol 300mm晶圓的邊緣處理預(yù)對準器
對準能力：標準300mm晶圓
Logosol 300mm TAIKO晶圓
接觸區(qū)：邊緣接觸，斑點寬度為1mm
引腳配置：
標準配置：為晶圓提供最均勻的支持
C（交叉）配置：為較厚的末端執(zhí)行器和
三方平等準入與上一代邊緣處理預(yù)對準器相比，這兩種配置都能容忍交付晶片的較大初始偏移（高達6mm）

Logosol LPA12ET-3-RETV1-S38-S-R880V PREALIGNER規(guī)格：

Logosol?久經(jīng)考驗的技術(shù)和高標準的可靠性是業(yè)內(nèi)最廣泛的預(yù)對準器系列的基礎(chǔ)。Prealigners?產(chǎn)品系列支持處理?45 毫米至 480 毫米的物體，具有從不透明到完全透明的任何透明度級別。Logosol?獨特的一體化設(shè)計和多功能控制軟件實現(xiàn)了與各種半導(dǎo)體平臺的直接兼容性和接口。