美國(guó)Logosol獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器LPA1218-3
- 創(chuàng)新、高性能的一體化設(shè)計(jì)，無(wú)需外部控制器和連接電纜，同時(shí)保持即插即用的兼容性。
- 采用超低慣量無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、即時(shí)的響應(yīng)。
- 先進(jìn)的掃描電子技術(shù)，可檢測(cè)透明、半透明和不透明物體，無(wú)需在不同晶圓尺寸之間進(jìn)行機(jī)械重新定位。
- 運(yùn)動(dòng)控制軟件具備全面的標(biāo)準(zhǔn)指令集，支持與多種半導(dǎo)體平臺(tái)兼容和接口集成。
- 典型對(duì)準(zhǔn)周期時(shí)間小于 4 秒，有助于實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)最高吞吐量。
晶圓處理設(shè)備參數(shù)表
| 參數(shù) | 規(guī)格 |
|---|---|
| 晶圓直徑 | 300mm 至 320mm, 450mm 至 470mm |
| 晶圓透明度 | 透明、半透明、不透明 |
| 適用方形基板 | 適用 |
| 晶圓處理方式 | 真空吸盤(pán)和固定銷(xiāo) |
| 居中精度 | ±25μm（在預(yù)對(duì)準(zhǔn)卡盤(pán)上） |
| 角度精度 (3 Sigma) | 10000 CPR 編碼器: 不適用24000 CPR 編碼器: ±0.02°（在預(yù)對(duì)準(zhǔn)卡盤(pán)上） |
| 伺服軸數(shù) | 三軸 |
| 主機(jī)通信 | RS232, 以太網(wǎng) |
| 最大初始晶圓偏移 | 12mm |
| 設(shè)備尺寸 (寬 x 長(zhǎng) x 高) | 173mm x 404mm x 190mm |
| 兼容型號(hào) | LPA312-3, LPA812-3LPA8ET-3, LPA12ET-3 |
| 重量 | 5.70kg |
| 所需設(shè)施 | 100-240VAC, 50/60Hz, 48VA 或 24VDC/2A |
| 真空要求 | 12″ Hg |
| 缺口兼容性 | 符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) |
| 潔凈度 | Class 1 |
| 平均無(wú)故障時(shí)間 (MTBF) | 超過(guò) 70000 小時(shí) |
Logosol LPA1218-3 一體化設(shè)計(jì) 主機(jī)通信 伺服軸數(shù) 先進(jìn)的掃描電子技術(shù) 全面的標(biāo)準(zhǔn)指令集 典型對(duì)準(zhǔn)周期時(shí)間小于 4 秒 兼容型號(hào) 兼容性 半透明和不透明物體 即插即用 即時(shí) 響應(yīng) 固定銷(xiāo) 外部控制器 多種半導(dǎo)體平臺(tái)兼容和接口集成 實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)最高吞吐量 居中精度 方形基板 晶圓處理方式 晶圓處理設(shè)備參數(shù)表 晶圓直徑 晶圓透明度 最大初始晶圓偏移 機(jī)械重新定位 潔凈度 獨(dú)立式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器 真空吸盤(pán) 真空要求 編碼器 缺口兼容性 美國(guó) 角度精度 超低慣量無(wú)刷電機(jī) 運(yùn)動(dòng)控制軟件 連接電纜 透明
