美國Logosol LPA812-1E?嵌入式預對準儀?LPA812-1E-V76P1-S23-S

用于高速晶圓傳輸系統的經濟型中心計算和角度定向設備，具有對 45 毫米 – 480 毫米物體的對準能力，可與任何市售機器人輕松集成。提供高精度和卡盤尺寸/材料選項。

創新、高性能、全合一設計，無需外部控制器和連接電纜，同時保持即插即用兼容性
由超低慣性無刷電機驅動，實現平滑、即時響應
先進的掃描電子學，能夠在不同晶圓尺寸之間無需機械重新定位的情況下檢測透明、半透明和不透明的物體
運動控制軟件，具有一套全面的常用命令，可實現與各種半導體平臺的兼容性和接口
典型的對齊周期時間不到四秒，有助于實現最大系統吞吐量