美國(guó)Logosol LPA812-1E?嵌入式預(yù)對(duì)準(zhǔn)儀?LPA812-1E-V76P1-S23-S

用于高速晶圓傳輸系統(tǒng)的經(jīng)濟(jì)型中心計(jì)算和角度定向設(shè)備，具有對(duì) 45 毫米 – 480 毫米物體的對(duì)準(zhǔn)能力，可與任何市售機(jī)器人輕松集成。提供高精度和卡盤(pán)尺寸/材料選項(xiàng)。

創(chuàng)新、高性能、全合一設(shè)計(jì)，無(wú)需外部控制器和連接電纜，同時(shí)保持即插即用兼容性
由超低慣性無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)平滑、即時(shí)響應(yīng)
先進(jìn)的掃描電子學(xué)，能夠在不同晶圓尺寸之間無(wú)需機(jī)械重新定位的情況下檢測(cè)透明、半透明和不透明的物體
運(yùn)動(dòng)控制軟件，具有一套全面的常用命令，可實(shí)現(xiàn)與各種半導(dǎo)體平臺(tái)的兼容性和接口
典型的對(duì)齊周期時(shí)間不到四秒，有助于實(shí)現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量