| 晶圓直徑 | 3″, 100mm, 125mm, 150mm, 200mm |
| 晶圓透明度 | 透明、半透明、不透明 |
| 適用方形基板 | 適用 |
| 晶圓處理方式 | 真空吸盤(pán) |
| 居中精度 | ±50μm（在預(yù)對(duì)準(zhǔn)卡盤(pán)上） |
| 角度精度 (3 Sigma) | 10000 CPR 編碼器: ±0.06°（在預(yù)對(duì)準(zhǔn)卡盤(pán)上）24000 CPR 編碼器: ±0.04°（在預(yù)對(duì)準(zhǔn)卡盤(pán)上） |
| 伺服軸數(shù) | 單軸 |
| 主機(jī)通信 | RS232, 以太網(wǎng) |
| 最大初始晶圓偏移 | 10mm |
| 設(shè)備尺寸 (寬 x 長(zhǎng) x 高) | 95mm x 266mm x 191mm |
| 兼容型號(hào) | LPA25-1E, LPA58-1E, LPA312-1E, LPA812-1E, LPA1218-1E |
| 重量 | 3.50kg |
| 所需設(shè)施 | 100-240VAC, 50/60Hz, 48VA 或 24VDC/2A |
| 真空要求 | 12″ Hg |
| 缺口兼容性 | 符合 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) |
| 潔凈度 | Class 1 |
| 平均無(wú)故障時(shí)間 (MTBF) | 超過(guò) 70000 小時(shí) |
