美國,Logosol,Diamond H5,真空晶圓處理機(jī)器人,Diamond H5 系列真空機(jī)器人在晶圓處理設(shè)備的設(shè)計(jì)和可靠性方面代表了顯著的工程進(jìn)步。

美國,Logosol,Diamond H5,真空晶圓處理機(jī)器人特征：
憑借技術(shù)優(yōu)越的組件，機(jī)器人采用超低慣性、高響應(yīng)的無刷伺服電機(jī)，配合零背隙的哈莫尼驅(qū)動(dòng)?齒輪，極大地提高了靈活性和精度。
創(chuàng)新的全合一設(shè)計(jì)將運(yùn)動(dòng)控制器、伺服放大器和電源集成在機(jī)器人行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的占地面積內(nèi)。
高強(qiáng)度結(jié)構(gòu)件使得機(jī)器人可以安裝在法蘭的頂部或底部表面，而不會(huì)影響系統(tǒng)的剛性。
支持網(wǎng)絡(luò)連接的RS-485和以太網(wǎng)接口，補(bǔ)充了標(biāo)準(zhǔn)的RS-232接口和教學(xué)掛件連接。
強(qiáng)大的本地晶圓處理和腳本語言有助于快速開發(fā)軟件，將機(jī)器人嵌入到OEM應(yīng)用環(huán)境中。
全面模擬傳統(tǒng)機(jī)器人“宏”命令，實(shí)現(xiàn)與各種現(xiàn)有半導(dǎo)體工具的即插即用兼容。
模塊化和高度可定制化設(shè)計(jì)
完全集成的運(yùn)動(dòng)控制器、伺服放大器和電源
高響應(yīng)無刷電機(jī)和精確的零背隙哈莫尼驅(qū)動(dòng)?齒輪
標(biāo)準(zhǔn)的RS-232接口和以太網(wǎng)（Telnet）接口與主機(jī)計(jì)算機(jī)連接
先進(jìn)的32位實(shí)時(shí)運(yùn)動(dòng)控制內(nèi)核
強(qiáng)大的晶圓處理固件
全面的軟件工具和實(shí)用程序
傳統(tǒng)機(jī)器人宏命令的模擬軟件
可選教學(xué)掛件終端
通用數(shù)字輸入輸出端口供定制使用
可靠性——平均故障間隔時(shí)間（MTBF）> 60,000小時(shí)

美國,Logosol,Diamond H5,真空晶圓處理機(jī)器人規(guī)格：

美國,Logosol,Diamond H5,真空晶圓處理機(jī)器人尺寸和運(yùn)動(dòng)范圍：

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