美國(guó),Logosol,LPA312-3,獨(dú)立晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器,創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計(jì)，消除了外部控制器和互連電纜，同時(shí)保持即插即用的兼容性。
采用超低慣量無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、瞬時(shí)響應(yīng)。
先進(jìn)的掃描電子技術(shù)能夠檢測(cè)透明、半透明和不透明的物體，無需在不同晶圓尺寸之間進(jìn)行機(jī)械重新定位。
運(yùn)動(dòng)控制軟件具有一套全面的常用命令，確保與各種半導(dǎo)體平臺(tái)的兼容性和接口。
典型的對(duì)準(zhǔn)周期時(shí)間少于四秒，有助于實(shí)現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量。

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