采用超低慣量無刷電機驅動，實現平穩、瞬時響應。
先進的掃描電子技術能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，無需在不同晶圓尺寸之間進行機械重新定位。
運動控制軟件具有一套全面的常用命令，確保與各種半導體平臺的兼容性和接口。
典型的對準周期時間少于四秒，有助于實現最大系統吞吐量。