美國(guó),Logosol,LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-C(X,Y),獨(dú)立式邊緣處理晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-C(X,Y),獨(dú)立式邊緣處理晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

適用于兩種晶圓尺寸，邊緣接觸區(qū)小于1毫米，并具有三種不同的針配置。

C型（十字）配置：提供最均勻的晶圓支撐，并且從三個(gè)側(cè)面具有相等的接入空間。

X型配置：為超過(guò)6英寸寬的末端執(zhí)行器提供空間，并且從兩個(gè)側(cè)面具有相等的接入空間。

Y型配置：與晶圓的物理接觸最小（僅在旋盤(pán)和針上有3個(gè)接觸點(diǎn)），并且從兩個(gè)側(cè)面具有相等的接入空間。

接口入口：側(cè)面（可選底部）

LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-C(X,Y),獨(dú)立式邊緣處理晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器規(guī)格：

LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-C 尺寸( inch/mm):

LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-X 尺寸（inch/mm）:

LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-Y尺寸（inch/mm）：

美國(guó),Logosol,LPA812EH-3-REHV1-S38-S(B)-R820V-NE-C(X,Y),獨(dú)立式邊緣處理晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

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