美國,Logosol,LPA58-1E,嵌入式晶圓預(yù)對準(zhǔn)器描述：

嵌入式晶圓預(yù)對準(zhǔn)器
創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計，消除了外部控制器和連接電纜，同時保持與現(xiàn)有系統(tǒng)的兼容性
由超低慣性無刷電機驅(qū)動，實現(xiàn)平穩(wěn)、即時的響應(yīng)
先進的掃描電子技術(shù)能夠在不進行機械重新定位的情況下，檢測透明、半透明和不透明物體，適用于不同晶圓尺寸
運動控制軟件包含一整套常用命令，支持與多種半導(dǎo)體平臺的兼容性和接口
典型的對準(zhǔn)周期時間小于四秒，幫助實現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量

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美國,Logosol,LPA58-1E,嵌入式晶圓預(yù)對準(zhǔn)器尺寸（inch/mm）:

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