美國,Logosol,LPA26-3,獨立式晶圓預對準器，創新的高性能一體化設計，消除了外部控制器和連接電纜，同時保持了與現有系統的兼容性。采用超低慣性無刷電機驅動，實現平穩、即時的響應。
先進的掃描電子技術能夠在不同晶圓尺寸之間無需機械重新定位，檢測透明、半透明和不透明物體。運動控制軟件具有一整套常用命令，支持與多種半導體平臺的兼容和接口。
典型對準周期時間少于四秒，有助于實現最大系統吞吐量。

美國,Logosol,LPA26-3,獨立式晶圓預對準器規格：

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