美國,Logosol,DIAMOND E5,真空電梯,晶圓處理機器人,運動范圍：13.267英寸（337mm）從硬止點到硬止點,13.188英寸（335mm）可用跨度，具有軟件限制

美國,Logosol,DIAMOND E5,真空電梯,晶圓處理機器人規格：

最大速度：8英寸/秒
最大加速度：12英寸/秒2
軸重復精度：+/‐ 0.001英寸（0.025mm）

晶圓尺寸：2英寸（50mm）至12英寸（300mm）
載荷：25公斤（55.1磅）
重量：21公斤（46.5磅）

潔凈度等級：Class 1
基礎真空度：最高可達1×10‐9 Torr
泄漏率：< 1×10‐9 std.cc/sec He

工作溫度：
真空側：最高100oC（212oF）
大氣側：10oC ‐ 40oC（50oF ‐ 104oF）

電機類型：無刷，低慣性，高響應
編碼器類型：增量式，10000脈沖/轉（電機軸）

設施要求：
電壓范圍：100‐120 VAC，200‐240 VAC

控制接口：LDCN機器人從設備（可串聯RS‐232接口）
通用數字I/O
可選：智能設備，RS‐232和以太網（Telnet）接口

暴露于真空的材料：鋁、不銹鋼、波紋管（AM‐350 SST退火）

安裝配置：
可定制法蘭（顯示為200mm底部安裝法蘭）

帶內置控制器和電源的機身尺寸：
（無需外部控制器）：8.70” x 7.98” x 22.05” （221mm x 203mm x 560mm）

美國,Logosol,DIAMOND E5,真空電梯,晶圓處理機器人尺寸和運動范圍：

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