美國,Logosol,LPA系列,晶圓預對準器,運動中的可靠性,晶圓預對準器,LPA系列,創(chuàng)新的高性能設計,兼容Class 1標準,獨特的一體化設計消除了外部控制器和連接電纜,同時保持了插入式兼容性

掃描電子設備、運動控制器和電源集成在行業(yè)標準的占地面積內
由超低慣性無刷電動機驅動，確保平穩(wěn)、即時響應
先進的掃描電子設備能夠檢測透明、半透明和不透明物體，無需機械重新定位即可適應不同尺寸
與晶圓搬運機器人無縫對接，支持從45mm到480mm的所有晶圓尺寸，以及相應的方形基板尺寸
Logosol控制軟件提供全面的命令集，支持與多種半導體平臺的兼容性和接口
快速的對準周期時間有助于實現最大系統(tǒng)吞吐量
可作為獨立設備或與晶圓搬運機器人協(xié)同工作的嵌入式設備提供
保留選項包括真空、非真空和邊緣搬運。