LOGOSOL,晶圓處理平臺(tái),晶圓機(jī)器人,晶圓機(jī)械手

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憑借技術(shù)優(yōu)越的組件，機(jī)器人采用超低慣性、高響應(yīng)的無(wú)刷伺服電機(jī)，配合零背隙的哈莫尼驅(qū)動(dòng)?齒輪，極大地提高了靈活性和精度。

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