美國(guó),Logosol,LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C),獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器描述:獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器,適用于300mm晶圓
邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器,適用于300mm晶圓
對(duì)準(zhǔn)能力:標(biāo)準(zhǔn)300mm晶圓
300mm TAIKO晶圓
接觸區(qū):邊緣接觸,接觸寬度為1mm
針腳配置:
標(biāo)準(zhǔn)配置:提供最均勻的晶圓支撐
C型(交叉)配置:為較厚的末端效應(yīng)器提供空間,并能從三個(gè)側(cè)面均勻接觸
與上一代邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器相比,兩種配置能夠容忍更大的初始偏移量(最多可達(dá)6mm)
美國(guó),Logosol,LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C),獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器規(guī)格:
美國(guó),Logosol,LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C),獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器尺寸(inch/mm):
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