美國(guó),Logosol,LPA312-1E,嵌入式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器描述：

嵌入式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，LPA312-1E
創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計(jì)，消除了外部控制器和連接電纜，同時(shí)保持與現(xiàn)有系統(tǒng)的兼容性
采用超低慣性無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、瞬時(shí)響應(yīng)
先進(jìn)的掃描電子技術(shù)能夠檢測(cè)透明、半透明和不透明物體，無需在不同晶圓尺寸之間進(jìn)行機(jī)械重新定位
運(yùn)動(dòng)控制軟件具備一套全面的常用命令集，支持與多種半導(dǎo)體平臺(tái)的兼容性和接口
典型對(duì)準(zhǔn)周期時(shí)間少于四秒，有助于實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的最大吞吐量

美國(guó),Logosol,LPA312-1E,嵌入式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器規(guī)格：

美國(guó),Logosol,LPA312-1E,嵌入式晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)器尺寸（inch/mm）:

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