Logosol,晶圓處理機器人,晶圓機械手,IWH F-3,憑借技術優越的組件，機器人采用超低慣性、高響應的無刷伺服電機，配合零背隙的哈莫尼驅動?齒輪，極大地提高了靈活性和精度。
創新的全合一設計將運動控制器、伺服放大器和電源集成在機器人行業標準的占地面積內。
高強度結構件使得機器人可以安裝在法蘭的頂部或底部表面，而不會影響系統的剛性。
支持網絡連接的RS-485和以太網接口，補充了標準的RS-232接口和教學掛件連接。

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