LOGOSOL,晶圓處理桌面機器人,H-zero,晶圓機械手,Diamond?系列大氣機器人在晶圓處理設備的設計和可靠性方面代表了顯著的工程進步。憑借技術優越的組件，機器人采用超低慣性、高響應的無刷伺服電機，配合零背隙的哈莫尼驅動?齒輪，極大地提高了靈活性和精度。

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