美國,Logosol,LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C),獨立邊緣處理預對準器描述:獨立邊緣處理預對準器,適用于300mm晶圓
邊緣處理預對準器,適用于300mm晶圓
對準能力:標準300mm晶圓
300mm TAIKO晶圓
接觸區:邊緣接觸,接觸寬度為1mm
針腳配置:
標準配置:提供最均勻的晶圓支撐
C型(交叉)配置:為較厚的末端效應器提供空間,并能從三個側面均勻接觸
與上一代邊緣處理預對準器相比,兩種配置能夠容忍更大的初始偏移量(最多可達6mm)
美國,Logosol,LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C),獨立邊緣處理預對準器規格:
美國,Logosol,LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C),獨立邊緣處理預對準器尺寸(inch/mm):
http://ydzhly.com/logosol/LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C)/
https://www.bilibili.com/opus/1007391631627780151