獨立晶圓預對準器
創新的高性能一體化設計，消除了外部控制器和連接電纜，同時保持與現有系統的兼容性
基于專有設計的快速交換功能，允許在針腳水平以下進行晶圓夾具裝載
先進的掃描電子技術能夠在不進行機械重新定位的情況下檢測透明、半透明和不透明物體，適用于不同晶圓尺寸
運動控制軟件包含一整套常用命令，支持與多種半導體平臺的兼容性和接口
典型對準周期時間小于五秒，幫助實現最大系統吞吐量

美國,Logosol,LPA12FS-3,獨立晶圓預對準器規格：