美國,Logosol,LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器描述：

獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，適用于150mm晶圓
減小接觸的邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器，適用于150mm晶圓
對(duì)準(zhǔn)能力：標(biāo)準(zhǔn)150mm晶圓，150mm平晶圓，透明及半透明基板
接觸區(qū)：邊緣接觸，接觸寬度為1mm
減小接觸的邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器能夠容忍更大的初始偏移量（最多可達(dá)6mm）

美國,Logosol,LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器規(guī)格：

美國,Logosol,LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器尺寸（inch/mm）：

美國,Logosol,LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,獨(dú)立邊緣處理預(yù)對(duì)準(zhǔn)器

http://ydzhly.com/logosol/LPA6EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE/

https://www.bilibili.com/opus/1007391631627780151