美國Logosol,LPA812-1E,嵌入式晶圓預(yù)對準(zhǔn)器描述：
創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計，消除了外部控制器和連接電纜，同時保持與現(xiàn)有系統(tǒng)的兼容性
采用超低慣性無刷電機驅(qū)動，實現(xiàn)平穩(wěn)、瞬時響應(yīng)
先進的掃描電子技術(shù)能夠檢測透明、半透明和不透明物體，無需在不同晶圓尺寸之間進行機械重新定位
運動控制軟件具備一套全面的常用命令集，支持與多種半導(dǎo)體平臺的兼容性和接口
典型對準(zhǔn)周期時間少于四秒，有助于實現(xiàn)系統(tǒng)的最大吞吐量

美國Logosol,LPA812-1E,嵌入式晶圓預(yù)對準(zhǔn)器規(guī)格：

美國Logosol,LPA812-1E,嵌入式晶圓預(yù)對準(zhǔn)器尺寸(inch/mm)：

美國Logosol,LPA812-1E,嵌入式晶圓預(yù)對準(zhǔn)器

https://www.bilibili.com/opus/1007391631627780151

http://ydzhly.com/logosol/LPA812-1E/