美國,Logosol,LPA8EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,獨立邊緣處理預對準器描述：

獨立邊緣處理預對準器，適用于200mm晶圓
減小接觸的邊緣處理預對準器，適用于200mm晶圓
對準能力：標準200mm晶圓，200mm平晶圓，透明及半透明基板
接觸區：邊緣接觸，接觸寬度為1mm
減小接觸的邊緣處理預對準器能夠容忍更大的初始偏移量（最多可達6mm）。

美國,Logosol,LPA8EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,獨立邊緣處理預對準器規格：

美國,Logosol,LPA8EH-3-REHV1-S29-S(B)-R560V-NE,獨立邊緣處理預對準器尺寸：

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