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晶圓處理平臺
Logosol 晶圓處理平臺涵蓋了多種產品和服務,源自超過 30 年的半導體自動化經驗。其技術包括硬件、軟件、機械設計、制造、集成和應用工程。公司設計的晶圓處理機器人和預對準器,旨在滿足需要在半導體制造廠內替換舊產品的應用需求,并支持OEM制造商的新開發資本設備中的自動化物料處理。這些產品線使用完全由 Logosol 擁有和控制的技術,包括運動控制電子、晶圓處理固件、軟件工具、公用設施和機械設計。擁有整個技術光譜的可用性,確保了高度的無縫集成、可制造性、可靠性和成本效益。
機器人許可
Logosol 在晶圓處理自動化領域具有悠久的歷史,將其專有技術許可給多個實體。產品包括多種機器人尺寸和臂型配置,作為靈活的模塊化自動化平臺的一部分。被許可方可以受益于公司在半導體自動化領域的廣泛經驗、經過驗證的產品和解決方案,以及超過30年的領域經驗。我們公司提供一套全面且高度可定制的統一技術,涵蓋項目的每個方面,從機械設計到運動控制電子、固件、軟件工具和公用設施。無論您需要簡單還是復雜的解決方案,我們都可以根據您的特定需求定制技術。您將完全掌控您的項目,而無需依賴第三方添加。我們的技術設計靈活、可擴展且可靠,確保高性能和質量標準。公司不僅提供制造許可證和文檔,還提供構建整個產品所需的機器人控制器、電源和特定電子模塊。此外,Logosol 還提供最全面的晶圓預對準器,與所有已授權的晶圓處理機器人完美集成。
機器人控制器
LRC-x31g3 是三軸、四軸和五軸機器人控制器,配有集成的 CPU 板和功率放大器,設計用于精確控制旋轉或線性無刷電機的應用。它們可以用作內置或外部控制器。LRC-x31g3 通過主機的 RS-232 或 10/100 Base-T 以太網接口進行控制。可以通過 Logosol 分布式控制網絡擴展接口無縫連接額外的外部設備。LRC-x31g3 配備了多種安全功能,如輸出和電機短路保護、欠壓停機和編碼器存在控制、智能停止功能,以避免機器外部停止或斷電時機器人臂掉落。支持非常高分辨率編碼器的先進運動控制技術可實現卓越的多軸軌跡生成。硬件輔助位置鎖存技術提高了飛行中晶圓對準的精度。
運動控制框架
MCL5 是 Logosol 第五代專有運動控制軟件包,提供領域特定的編程語言和多任務實時解釋器。這是一個專門用于機器人控制應用設計的編程框架。MCL5 可執行文件集成了運動控制器和 I/O 模塊,實現了各種機器人運動學,支持復雜的軌跡運動,并監控系統完整性。該可執行文件還包括一個實時多任務腳本解釋器,允許設計應用特定的腳本,這些腳本可以用于協調機器人運動的順序并實現自定義的主機通信協議。該腳本語言由一組保留字定義,表達式語法類似于 C 編程語言。
美國,logosol 晶圓處理平臺演示視頻:
產品資料:
isel Germany iselRobotik 晶圓處理機器人
由 Logosol 共同設計和提供動力
Milara Diamond 晶圓處理機器人
由 Logosol 授權并提供動力
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