美國Logosol,獨立晶圓預對準器,快速交換,LPA12FS-3

創新的高性能一體化設計無需外部控制器和互連電纜，同時保持直接兼容性

基于專有設計的快速交換功能，允許晶圓卡盤負載低于引腳水平

先進的掃描電子設備能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，而無需在不同晶圓尺寸之間進行機械重新定位

運動控制軟件具有一整套常用命令，可與各種半導體平臺兼容和連接

典型的對中周期時間小于 5 秒，有助于實現最大的系統吞吐量