美國(guó)Logosol,預(yù)對(duì)準(zhǔn)器, 嵌入式, LPA25-1E 嵌入式預(yù)對(duì)準(zhǔn)器
LPA25-1E
創(chuàng)新的高性能一體化設(shè)計(jì)無(wú)需外部控制器和互連電纜,同時(shí)保持直接兼容性
由超低慣量無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng),實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、即時(shí)的響應(yīng)
先進(jìn)的掃描電子設(shè)備能夠檢測(cè)透明、半透明和不透明的物體,而無(wú)需在不同晶圓尺寸之間進(jìn)行機(jī)械重新定位
運(yùn)動(dòng)控制軟件具有一整套常用命令,可與各種半導(dǎo)體平臺(tái)兼容和連接
典型的對(duì)中周期時(shí)間小于 4 秒,有助于實(shí)現(xiàn)最大的系統(tǒng)吞吐量
LPA25-1E 規(guī)格
LPA25-1E 一般尺寸