美國Logosol,預(yù)對準(zhǔn)器, 邊緣處理,用于 300mm 晶圓,獨立邊緣處理預(yù)對準(zhǔn)器,LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C)
用于 300mm 晶圓的邊緣處理預(yù)對準(zhǔn)器
對準(zhǔn)能力:標(biāo)準(zhǔn) 300 毫米晶圓 300 毫米 TAIKO 晶圓
接觸區(qū):光斑寬度為 1mm 的邊緣觸點
標(biāo)準(zhǔn)配置:為晶圓提供最均勻的支撐
C(交叉)配置:為較厚的末端執(zhí)行器提供空間,并從三個側(cè)面平等進(jìn)入
與上一代邊緣處理預(yù)對準(zhǔn)器(最大 6 毫米)相比,兩種配置都能容忍交付晶圓的更大初始偏移