美國Logosol,預對準器, LPA26-3 獨立預對準器

獨立晶圓預對準器 LPA26-3

創新的高性能一體化設計無需外部控制器和互連電纜，同時保持直接兼容性

由超低慣量無刷電機驅動，實現平穩、即時的響應

先進的掃描電子設備能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，而無需在不同晶圓尺寸之間進行機械重新定位

運動控制軟件具有一整套常用命令，可與各種半導體平臺兼容和連接

典型的對中周期時間小于 4 秒，有助于實現最大的系統吞吐量

LPA26-3 一般尺寸