美國Logosol,預對準器, LPA312-3 ,獨立晶圓預對準器
獨立
用于 45 毫米 – 480 毫米物體高精度對準的自主設備，包括方形和雙層基板，無需機械重新定位即可單單元處理多種尺寸的物體，卡盤加載和銷釘加載模式，以及高精度選項。
創新的高性能一體化設計無需外部控制器和互連電纜，同時保持直接兼容性
由超低慣量無刷電機驅動，實現平穩、即時的響應
先進的掃描電子設備能夠檢測透明、半透明和不透明的物體，而無需在不同晶圓尺寸之間進行機械重新定位
運動控制軟件具有一整套常用命令，可與各種半導體平臺兼容和連接
典型的對中周期時間小于 4 秒，有助于實現最大的系統吞吐量
LPA312-3 規格
LPA312-3 一般尺寸
