美國Logosol, LPA12ET-3 邊緣處理預對準儀,LPA12ET-3-RETV1-S38-S(B)-R880V-NE-(C),用于 300mm 晶圓的邊緣處理預對準器

對準能力：標準 300mm 晶圓 300mm TAIKO 晶圓接觸區：光斑寬度為 1mm 的邊緣接觸

標準配置：為晶圓 C（交叉）配置提供最均勻的支撐：為更厚的末端執行器提供空間，并從三個側面提供相等的通道與上一代邊緣處理預對準器（最大 6 毫米）相比，兩種配置都能容忍交付晶圓的更大初始偏移